薄膜厚度是否均勻一致是檢測薄膜各項性能的基礎，薄膜測厚儀分為在線和非在線測量兩種方式。在線測量一般選用光學透過率原理的真空鍍膜在線測厚儀，非在線測量一般選用體積小巧的涂層測厚儀。